FinFET 标准单元 Layout Design Rules
FinFET 的版图密度往往因制造“鳍”所用具体工艺而异,因此难以给出普适结论。Fig1. 对比了传统 CMOS 器件与具有四鳍的短接栅 FinFET 的版图结构:FinFET 采用一条连续的栅极条带,并通过金属连线将多鳍的源、漏端并联,从而构成更宽的有效沟道
FinFET 的版图密度往往因制造“鳍”所用具体工艺而异,因此难以给出普适结论。Fig1. 对比了传统 CMOS 器件与具有四鳍的短接栅 FinFET 的版图结构:FinFET 采用一条连续的栅极条带,并通过金属连线将多鳍的源、漏端并联,从而构成更宽的有效沟道